1月21日消息，ASML客戶交付了第一臺 YieldStar 385 系統，可以滿足3納米制程的要求。與以前的系統相比，主要的增強功能包括更快的工作臺和更快的波長切換，這可以實現高精度的套準測量和使用多個波長的設備匹配。
ASML 交付第一臺 YieldStar 385 系統，可滿足 3 納米制程要求
2021-01-21 eNet&Ciweek/欣遇
1月21日消息，ASML客戶交付了第一臺 YieldStar 385 系統，可以滿足3納米制程的要求。與以前的系統相比，主要的增強功能包括更快的工作臺和更快的波長切換，這可以實現高精度的套準測量和使用多個波長的設備匹配。
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